제품소개
Measurement Systems
Monitoring Systems
■ Pipe deposition monitoring system
Pipe deposition monitoring system은 Pipe내의 Podwer, Sludge의 Deposition 상태를 실시간 Monitoring하는 System입니다.
모니터링 시스템의 적용 범위
- - METAL, DIFFUSION, CVD, ETCH, PHOTO, CMP, IMP, CLEAN 8대 공정의 Exhaust pipe, Drain pipe
반도체 공정 모니터링 시스템의 필요성
- - 배관의 Deposit에 의한 막힘, 역차압 발생, Pump의 과부하에 의한 FAB內 환경 안전 사고 예방
- - 배관의 Deposition 상태의 문제점을 사전에 검출하여 공정의 안정성을 확보
- - 경험에 의해 부정확한 P.M 주기 산정으로 발생 할 수 있는 설비의 정지 및 Loss를 파이프 모니터링 시스템을 사용함으로써 정확한 P.M 주기 연장을 가능하게 합니다.
■ Specifications (센서)
| 파이프센서 | |
|---|---|
| 사이즈 | 40mm(NW40) - Length 120 mm - Weight 4.4 kg 50mm(NW50) - Length 120 mm - Weight 4.4 kg 이외 사이즈 제품은 주문 시 확인 |
| 재질 | 센서 바디와 전극 : 스테인리스 스틸, 티타늄 개스킷 : PEEK 이외 재질은 주문 시 협의 |
| 최대압력 | 표준 모델 : 16 bar 고압 모델 : 100 bar |
| 파이프 온도 | 저온 모델 : 0-90⁰C 고온 모델 : 0 ~200 ⁰C |
| IP등급 | IP65 |
| Sensor Model | PH(L)-X (H: High temperature L: Low temperature , X : 파이프 내경) |
■ Specifications (컨트롤 유닛)
| 컨트롤 유닛, 데이터 캐비닛, 연결 유닛 | ||
|---|---|---|
| 사이즈 | 600 x 750 x 210mm | |
| 센서 (캐비닛 연결) | 케이블튜빙으로 고정된 연결 (금속, 폴리아미드). 최대길이 : 10 m. | |
| 컨트롤 유닛 (캐비닛 연결) | 이더넷 케이블. 최대 길이 245 ft. (75 m). |  |
| 캐비닛 (연결 유닛) | 이더넷 케이블. 최대 길이 30 ft. (9m). | |
| 무선연결 | 3G/4G (LTE), 이더넷. 다른 연결타입은 주문 시 협의. | |
| IP등급 | IP66 | |
| 전력소비량 | 파이프 센서와 컨트롤 유닛 15W, 캐비닛 20W, 연결 유닛 15W. | |
| 주변 온도 | -20 - +60℃ NOTE: 캐비닛의 온도가 40 ⁰C 이상일 때 추가적인 쿨링 필요 (태양의 영향 혹은 다른 복사열을 고려해야 함) |
|
■ Pipe Sensor installation Options
■ 측정원리
- 1첫번째 전극에 낮은(1~2V) 전압 인가
- 2나머지 전극에서 전류 측정
- 3다른 전극에서 전압 인가
- 4①~③의 과정을 순차적으로 모든 전극이 전압을 인가할 때까지 반복
- 5측정된 결과와 일치되도록 파이프 내부의 물질 분포를 결정합니다.
- 6⑤의 방법은 전도도와 유전율을 대표하는 단층촬영 이미지 입니다.
- 7①~⑥을 아주 빠르게(초당 20회 이상) 반복할 수 있습니다.
→흐름의 3D 이미지를 얻기 위한 실시간 모니터링 가능
■ S/W User Interface – imaging 2D
파이프 센서 S/W GUI로 이미지와 Free Volume을 그림과 같이 실시간으로 최대 120대의 파이프 센서를 동시에 모니터링 할 수 있습니다.
■ S/W User Interface – imaging 3D
측정된 이미지를 시간순으로 배열하여 위의 위와 같은 3D 형상으로 표현 할 수 있습니다 (1~60FPS)
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- TEL : 032-811-3457 FAX : 032-232-7458
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