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가전 솔루션

레이저 광열 박막·도금 두께 측정 센서

도금·아노다이징·PVD 박막처럼 얇은 기능성 층의 두께를 수십 nm부터 1 mm까지 레이저로 비접촉 측정하는 점 측정 센서

프로센은 Enovasense(에노바센스)의 한국 공식 대리점으로, Point Sensor 공급부터 측정 검토·설치·연동·사후 지원까지 직접 맡습니다. Enovasense 파트너 소개

10 nm ~ 1 mm 측정금속 위 도금층 측정최소 0.3 mm 스팟라인 장착형 · 자동 측정 스테이션 옵션

측정 범위
0.01 µm ~ 1,000 µm(코팅·기재 조합에 따라 다름)
측정 시간
10 ms ~ 1,000 ms / 점
이격 거리
15 mm ~ 150 mm센서와 측정 대상 사이 거리
스팟 크기
0.3 mm ~ 12 mm(렌즈 교체식)실제로 측정되는 점의 크기
레이저 광열 박막·도금 두께 측정 센서 외형 1

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제품 개요

도장 두께는 접촉식 게이지나 도막 두께 측정기로 재지만, 수십 nm 박막, 금속 위에 입힌 금속 도금, 작은 전자부품의 절연층은 다른 방법이 필요합니다. 이 센서는 변조 레이저로 표면을 주기적으로 데우고 되돌아오는 열 신호를 읽어, 이런 얇은 기능성 층의 두께를 닿지 않고 잽니다.

컨트롤러·광섬유·프로브로 나뉘어 있어 생산 라인이나 장비 안에 프로브만 넣어 인라인으로 쓰고, 부품을 여러 점 자동으로 재야 하면 자동 측정 스테이션 HAKO L 2를 옵션으로 더합니다.

같은 열 방식인 coatmaster 와는 쓰는 자리가 다릅니다. 분체·습식 도장의 도막 두께를 부품 전체로 보는 일은 coatmaster 가, 도금·박막·기능성 코팅처럼 얇고 작은 영역을 정밀하게 재는 일은 이 센서가 맡습니다.

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측정 원리

  1. 레이저로 데우고, 열이 돌아오는 시간차를 읽습니다

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    레이저로 데우고, 열이 돌아오는 시간차를 읽습니다

    일정 주기로 세기가 바뀌는 레이저가 표면을 데우면 열파가 코팅층 안으로 퍼졌다가 돌아옵니다. 적외선 검출기가 이 열 신호의 위상 지연을 읽고, 층 두께와 열 성질에 따라 달라지는 위상을 두께로 환산합니다. 코팅과 기재 조합마다 기준 시편으로 보정합니다.

  2. 수십 nm 박막부터 1 mm 후막까지, 금속 위 금속도

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    수십 nm 박막부터 1 mm 후막까지, 금속 위 금속도

    PVD·CVD 박막, 아노다이징, 아연·니켈 전기도금, 용사·클래딩층, 수지 보호층을 측정합니다. 기재가 금속·세라믹·유리·폴리머여도 되고, 와전류 게이지가 어려운 금속 위 금속 도금도 열 성질 차이로 구분해 잽니다.

  3. 라인에는 센서만, 오프라인 전수 측정은 자동 스테이션

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    라인에는 센서만, 오프라인 전수 측정은 자동 스테이션

    기본은 라인이나 장비에 장착하는 센서 단품입니다. 부품을 넣고 여러 점을 자동으로 매핑하려면 레이저 차폐형 3축 자동 측정 스테이션 HAKO L 2 를 옵션으로 더합니다. 차폐 구조라 별도 레이저 안전 구역 없이 실험실이나 라인 옆에 둘 수 있습니다.

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상세 사양

측정 성능7개 항목
측정 원리
레이저 광열 라디오메트리 (변조 레이저 가열 + 적외선 위상 검출)
측정 범위
0.01 µm ~ 1,000 µm (코팅·기재 조합에 따라 다름)
정확도
측정 두께의 3 % 미만 (σ)
측정 시간
10 ms ~ 1,000 ms / 점
이격 거리
15 mm ~ 150 mm
스팟 크기
0.3 mm ~ 12 mm (렌즈 교체식)
레이저
980 nm, 최대 10 W (455 · 1,470 · 1,550 nm 선택)
반복도 (RMS, 도료 / 금속 코팅)6개 항목
0.01 ~ 0.1 µm
± 0.01 µm
0.1 ~ 1 µm
± 0.05 µm
1 ~ 5 µm
± 0.1 µm / ± 0.3 µm
5 ~ 50 µm
± 0.3 µm / ± 1 µm
50 ~ 300 µm
± 1 µm / ± 2 µm
300 ~ 1,000 µm
± 3 µm / ± 5 µm
하드웨어3개 항목
컨트롤러
123 × 200 × 85 mm, 1.7 kg, DC 24 V
프로브
T33 Ø66 × 93 mm, 400 g / T60 Ø35 × 64 mm, 150 g
연결
컨트롤러–프로브 광섬유 분리형, Ethernet
자동 측정 스테이션 HAKO L 26개 항목
용도
부품을 넣고 XYZ 3축으로 여러 점을 자동 매핑하는 측정 셀
스트로크
450 × 450 × 300 mm (축 정밀도 20 µm)
최대 부품
550 × 500 × 400 mm, 70 kg
외형 · 무게
1.2 × 0.9 × 0.85 m, 200 kg
레이저 안전
Class 1 차폐형 (IEC 60825-1), 자동 슬라이딩 도어
추가 선택
360° 회전 헤드, 부품 회전 스테이지, 비전 자동 부품 인식

구성과 옵션에 따라 사양이 달라질 수 있습니다. 이 사양으로 될지 애매하다면 공정 조건을 알려 주세요. 사양 상담하기카탈로그·자료 요청

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적용 분야

전자부품 절연 · 보호 코팅
칩 부품에 스크린 인쇄나 스프레이로 입힌 얇은 절연층. 작은 부품도 0.3 mm 스팟으로 원하는 자리만 잽니다.
디스플레이 · 유리 위 수지층
얇은 유리 위 수지 코팅. 레이저 출력과 스팟을 골라 표면에 흔적을 남기지 않는 조건으로 측정합니다.
전기도금 · 아노다이징
아연·니켈 도금, 아노다이징처럼 금속 위에 입힌 금속·산화층. 와전류 방식이 어려운 조합도 측정합니다.
코일 코팅 · 전기강판 절연 코팅
주행하는 강판 위 코팅·절연층을 프로브로 인라인 측정합니다. 1 µm 아래 얇은 층까지 다룹니다.
PVD · CVD 박막
공구·부품의 경질 박막처럼 수십 nm ~ 수 µm 층. 파괴 단면 검사 없이 두께를 확인합니다.
용사 · 레이저 클래딩층
수백 µm ~ 1 mm 후막. 같은 센서로 박막과 후막을 함께 다룹니다.

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자주 묻는 질문

Q1

coatmaster 와는 무엇이 다른가요?

둘 다 열을 이용하지만 쓰는 자리가 다릅니다. coatmaster 는 도장 공정용으로, 분체·습식 도막을 경화 전에 재고 3D 모델은 부품 전체의 두께 분포를 한 번에 봅니다. Enovasense 는 변조 레이저로 한 점을 정밀하게 재는 센서라 수십 nm 박막, 금속 위 도금, 작은 부품의 미세 영역, 장비 안 인라인 장착에 맞습니다. 도장 두께 관리는 coatmaster, 도금·박막·기능성 코팅은 Enovasense 를 권합니다.

Q2

금속 위에 입힌 금속 도금도 측정되나요?

도금층과 기재의 열 성질이 다르면 측정합니다. 조합마다 두께를 아는 기준 시편으로 보정하므로, 보유 시편으로 먼저 데모 측정을 진행합니다.

Q3

레이저 때문에 표면이 상하지 않나요?

레이저 출력과 스팟 크기를 고를 수 있습니다. 얇은 수지층처럼 열에 민감한 표면은 스팟을 키우고 출력을 낮춰 흔적이 남지 않는 조건을 먼저 찾습니다.

Q4

자동 측정 스테이션은 꼭 필요한가요?

아닙니다. 기본은 라인이나 장비에 다는 센서 단품입니다. 부품 여러 점을 자동으로 매핑하거나, 레이저 안전 구역 없이 실험실·라인 옆에서 쓰려면 HAKO L 2 스테이션을 옵션으로 더합니다.

적합성 검토

보유 시편으로 데모 측정부터 시작하세요

코팅 종류와 기재, 두께 범위를 알려 주시면 측정 조건을 잡아 결과를 함께 확인합니다.

아는 만큼만 적어 주세요. 다음 단계에서 이름·이메일만 확인하면 접수됩니다.