반도체 제조 공정 중 주요 배관 구간 내 파이프 디파짓 상태를 실시간으로 모니터링하는 계측 솔루션을 제공합니다. 주요 진공 배관의 오염과 이상 신호를 조기에 감지하여 생산 효율과 품질 안정성을 높입니다.

반도체

배기라인 내 디파짓 축적 실시간 감지 및 알람

실시간성

배관 막힘 사전 예측을 통한 다운타임 최소화

일정한 배기 성능 유지로 공정 품질 확보

불필요한 배기라인 청소 주기 최적화

PDM은 배기라인의 파이프 내에 발생하는 디파짓으로 인한 수율 저하, 장비 고장, 안전 사고 등의 리스크를 사전에 차단해 실시간 모니터링, 배기라인 안정성과 공정 신뢰성을 동시에 확보하는 필수 솔루션입니다.