01INDUSTRY OVERVIEW
반도체
반도체 제조 공정 중 주요 배관 구간 내 파이프 디파짓 상태를 실시간으로 모니터링하는 계측 솔루션을 제공합니다. 주요 진공 배관의 오염과 이상 신호를 조기에 감지하여 생산 효율과 품질 안정성을 높입니다.
02PRODUCT LINES
제품 라인업
Product Series
SELECT MODULE TO VIEW SPECIFICATIONS
Module Description
주요 배관구간은 공정 장비에 진공을 형성하고 가스를 공급하는 핵심 인프라로, 장비의 안정적 운전과 제품 품질 유지에 직접적인 영향을 미칩니다. 이 구간은 공정 부산물과 오염물의 축적이 발생하기 쉬운 영역으로, 오염이 누적되면 공정 수율 저하, 장비 이상, 불량률 증가로 이어질 수 있어 정밀한 모니터링과 주기적인 관리가 필수적입니다.
SECTOR: 63F0B4F1
APPLICATIONS
파이프라인 디파짓 모니터링
03KEY CAPABILITIES
프로센의 기술 경쟁력
실시간성
01배기라인 내 디파짓 축적 실시간 감지 및 알람
예방 정비
02배관 막힘 사전 예측을 통한 다운타임 최소화
공정 안정성
03일정한 배기 성능 유지로 공정 품질 확보
운영비 절감
04불필요한 배기라인 청소 주기 최적화
04ROI SIMULATOR
ROI 시뮬레이터
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